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一般样品分析前需要进行标准化。标准化数据的运算由计算机自动进行。选择一组标准化样品非常不易，其中包括所有要分析的元素的高含量和低含量。直读光谱仪标准化样品必须在制做元素工作曲线的同时，把标准化样品激发，以保证曲线没有偏移。在1点的标准化中，直读光谱仪测定，只需要高或低含量的标准就够了，如果样品能覆盖的含量范围较宽，又要在低含量时有较高的精度才需要2点标准化。这时便需要2种标样，一为高标，一为低标。或者每个标样中可包含一些高浓度元素和另一些低浓度元素，只要它们能包括所有元素就行。高浓度和低浓度值不一定正好在校准范围的或端。但是它们应该接近这个范围的和端，并且它们之间应有足够的差值。高低标是为修正由于仪器随时间变化而引起的测量值对工作曲线的偏离而用的，再校准以修正仪器在中、长期内发生的漂移。

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